國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣化學(xué)污染控制技術(shù)要求》GB/T 36306-2024由全國潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 319)提出并歸口，中國電子工程設(shè)計(jì)院股份有限公司、中國電子系統(tǒng)工程第三建設(shè)有限公司、中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司、中國科學(xué)院大氣物理研究所、深圳市億天凈化技術(shù)有限公司、天津大學(xué)等單位共同起草。2018年首次發(fā)布為GB/T 36306-2018，本次為第一次修訂。

本文件代替GB/T 36306-2018《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣化學(xué)污染控制指南》，與GB/T 36306-2018相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動外，主要技術(shù)變化如下:

a)更改了標(biāo)準(zhǔn)適用范圍(見第1章，2018年版的第1章)；

b)刪除了空氣分子污染、環(huán)境反應(yīng)監(jiān)測法、污染物、氣相空氣凈化裝置等術(shù)語(見2018年版的3.1、3.2、3.3、3.4)；

c)增加了按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度、釋出氣體等術(shù)語(見3.1、3.3)；

d)更改了空氣化學(xué)污染物的定義(見3.2，2018年版的3.5)；

e)更改及增加了污染源來源(見4.1、4.2,2018年版的4.1)，刪除了分級與分類(見2018年版的4.2)；

f)增加了一般要求、設(shè)計(jì)、施工及運(yùn)行維護(hù)等空氣化學(xué)污染控制內(nèi)容(見 5.1、5.2、5.3、5.4)，刪除了確定是否污染及情況、控制措施的內(nèi)容(見2018年版的6.1、6.2)；

g)更改標(biāo)題“檢測”為“檢測與監(jiān)測”(見第6章，2018年版的第5章)，更改了檢測的內(nèi)容(見6.1,2018年版的5.1、5.2)，增加了監(jiān)測的內(nèi)容(見6.2)。

本文件的空氣化學(xué)污染控制技術(shù)主要針對有空氣化學(xué)污染控制要求的潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境。空氣化學(xué)污染物的分子尺寸范圍為0.1nm~3nm，通常狀態(tài)下是以氣體或蒸氣形態(tài)存在，常規(guī)高效過濾器和超高效過濾器無法有效去除，使用粒子計(jì)數(shù)器也檢測不到。

空氣化學(xué)污染物種類較多，不同污染物具有不同的化學(xué)性質(zhì)，某些污染物的濃度可隨環(huán)境的溫度、濕度變化而改變，且污染物來源具有很大的隨機(jī)性。隨著凈化技術(shù)和材料的發(fā)展，空氣化學(xué)污染物可以被有效控制和去除，能夠保障潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)空氣化學(xué)污染物滿足環(huán)境限定要求。

國際器件與系統(tǒng)路線圖(IRDS)晶圓環(huán)境污染控制數(shù)據(jù)表

億天凈化作為潔凈技術(shù)應(yīng)用綜合解決方案提供商，提供的解決方案在電子半導(dǎo)體等多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用，為眾多客戶提供了穩(wěn)定、合規(guī)、綠色的潔凈環(huán)境。未來將繼續(xù)深度參與構(gòu)架標(biāo)準(zhǔn)化建設(shè)，積極促進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)的落地執(zhí)行，促進(jìn)潔凈產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展，為高端制程工藝保駕護(hù)航。